9nm!光刻机,我国重大创新!(转载)

楼主:动力阿剑 时间:2019-04-22 12:54:18 点击:13980 回复:295
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  4月15日消息,据科技日报报道:

  武汉光电国家研究中心甘棕松团队,采用二束激光在自研的光刻胶上突破了光束衍射极限的限制。

  采用远场光学的办法,光刻出最小9nm线宽的线段,实现了从超分辨成像到超衍射极限光刻制造的重大创新。

  据悉,甘棕松团队利用的是光刻胶材料对不同波长光束能够产生不同的光化学反应,让自主研发的光刻胶在第一个波长的激光光束下产生固化,在第二个波长的激光光束下破坏固化。

  第二束光被调制为空心光(中心光强为0),并利用第二曙光与第一束光形成的重合光斑,作用于光刻胶。这样只有第二束光空心部分的光刻胶最终被固化,从而远场突破衍射极限。



  该原理其实早在2013年就被甘棕松团队验证了,但却一直面临从原理验证样机到可商用化的工程样机的开发困难。

  据科技日报报道,甘棕松团队克服了材料、软件、零部件国产化三大难题。

  开发了多类光刻胶、实现了样机系统关键零部件国产化,实现了微纳三维器件结构设计和制造软件一体化。

  甘棕松说,我们打破了三维微纳光制造的国外技术垄断,在这个领域,从材料、软件到光机电零部件,我们都将不再受制于人。

  双光束超衍射极限光刻系统目前主要应用于微纳器件的三维光制造,未来随着进一步提升设备性能,在解决制造速度等关键问题后,该技术将有望应用于集成电路制造。

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作者:ty_jacky322 时间:2019-04-22 13:04:01
  能不能低调点,还嫌人封杀的不够狠吗
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作者:木少公子 时间:2019-04-22 13:06:49
  厉害!继续加油!向7nm进发!
  • tianze2019: 举报  2019-04-23 07:51:23  评论

    没必要吧,只要做出芯片能用就好,28N和7N能差多少,先用上再说,让他们先跑几步没关系
  • 木少公子: 举报  2019-04-25 13:12:24  评论

    评论 tianze2019:不知道你从哪里得出结论28跟7差不多。首先12跟9,9跟7就是代差。另外现在手机屏幕越来越大,其他元件的空间肯定越小越好,连一个耳机孔现在都在想着怎么取消来节省空间。7nm芯片比9nm占的空间要小很多。另外,也要抢台积电7nm全球占90%的市场啊。
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作者:黄白劳 时间:2019-04-22 13:07:25
  喜讯!谢谢楼主
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楼主动力阿剑 时间:2019-04-22 13:10:25
  该技术将有望应用于集成电路制造。
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作者:火星卫星上的居民 时间:2019-04-22 13:11:59
  晋华有救了
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作者:随便路过看一看 时间:2019-04-22 13:14:00
  科技井喷啊,点兔线突到面突
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楼主动力阿剑 时间:2019-04-22 13:20:00
  采用两束(波长较长的)激光。如果用于集成电路制造,光学系统会搞得非常复杂。
  但ASML的极紫外光光刻,没法用透镜。
  都难。需要大量投资和艰苦探索。

  希望有企业(上海微电子)能够迎难而上。
作者:商族部落 时间:2019-04-22 13:21:59
  天天重大创新,今天9nm明天7nm,天天喊,喉咙都喊破了,到底在哪里?哪里能见到?我怎么满眼看到的都是高通、联发科?就一个5G,天天喊的世界第一,华为牛逼,韩国都商用了,中国的5G在哪里才能看到?你告诉我哪里有5G信号?低级红还不如高级黑。天天嘴炮强国会误了大事的,强就是强,弱就是弱,足球不行就承认不行,老是学印度阿三那样干嘛?天天印度猪生浪。芯片只是研发,研发不是商用,那个早了,再过几年你都看不到商用芯片。好比再过几年你都用不上5G一样。喊吧!
  • 黄白劳: 举报  2019-04-22 13:23:12  评论

    我们中国将在芬兰和爱沙尼亚修建长达97公里的世界最长海底铁路隧道,工程震撼世界,造福北欧。我们中国将在芬兰和爱沙尼亚修建长达97公里的世界最长海底铁路隧道,工程震撼世界,造福北欧。
  • 黄白劳: 举报  2019-04-22 13:23:40  评论

    美国OZY新闻网4月21日文章,原题:北欧、波罗的海地区将成为中国最新竞技场
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作者:米格9999 时间:2019-04-22 13:22:49
  哈哈哈,高兴!再接再厉,
作者:狸猫2301 时间:2019-04-22 13:24:13
  实际上,西方越封锁我们。我们就越能奋发前进。

  多难则兴邦。

  为了祖国的科技越来愈强大,我们应该促进西方各国加强对中国的技术封锁。
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作者:休闲欢乐2018 时间:2019-04-22 13:26:26
  厉害了
作者:悠然之顽石 时间:2019-04-22 13:44:39
  顶,国之栋梁!!!
作者:涯叔甲 时间:2019-04-22 14:01:43
  这个可以有:前几天在手机浏览器新闻里见到过报道,没有这个详细,原来还以为不真实,现在看来有点盼头,加油,摘下那制造业皇冠上的明珠。
作者:眺明天 时间:2019-04-22 14:04:56
  稳 等待 ! 这团队成果不少, 产品还 没上市。
作者:billyjust 时间:2019-04-22 14:10:27
  中芯那台光刻机到了没
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作者:土山笑听风唱恋歌 时间:2019-04-22 14:17:24
  陕西研究所也突破了光刻机
作者:半坡书画 时间:2019-04-22 14:17:25
  好事要顶!顶!

  珍爱生命,远离忽悠!珍爱生命,远离日货!!
作者:土山笑听风唱恋歌 时间:2019-04-22 14:18:19
  等商用了卖个白菜价,荷兰对手倒闭。
作者:yuanzxuejun 时间:2019-04-22 14:18:37
  我们即使只是在实验室突破,西方国家马上会在出口上放松限制,让我想起了中芯获准进口7nm的光刻仪
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作者:mantin2006 时间:2019-04-22 14:19:10
  可以!这个真可以有!
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作者:闲看风起云落 时间:2019-04-22 14:19:15
  如果不是中国有突破,荷兰会卖光刻机给中国吗?一看再不卖就没机会了,赶紧卖中国,既赚了钱又顺便打压了国产机,白皮是真心的坏。
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作者:casketer 时间:2019-04-22 14:21:49
  加快产业化。
作者:喜看稻菽 时间:2019-04-22 14:42:01
  有点出乎意料啊,9纳米,距离最先进的7纳米,几乎没有数量级差距了。极限瓶颈在哪里?被追赶上几乎是理所当然。
作者:涯天侠 时间:2019-04-22 16:47:19
作者:rrdb123 时间:2019-04-22 16:54:57
  那所以技术都拿下了,好象芯片材料已突破了已开通领先了。
作者:ttgll 时间:2019-04-22 17:13:46
  统统是技术突破,什么时候基础物理再来一次突破,理论也行。
作者:铁男N 时间:2019-04-22 18:21:58
  现在是7nm
作者:咖哩麵包 时间:2019-04-22 18:35:08
  轉個新聞,我沒啥意思
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  荷蘭史上最大規模間諜醜聞:中國員工竊取半導體光刻機巨擘ASML機密

  邱立玲2019-04-12 18:32

  中國和歐盟才同意加強雙邊關係後兩天,就傳來中國間諜偷竊全球最大的晶片微影設備製造商ASML(艾斯摩爾)技術機密的消息。

  荷蘭報紙Financieele Dagblad周四(11日)報導「6名前中國籍高級研發人員」盜竊ASML的商業機密,並聲稱這與中國政府有關,該公司發現「這起竊密案與中國科學技術部的間接聯繫」。

  魔鬼藏在細節裡

  ASML製造光刻系統,用於追蹤半導體晶片的電路。機密被盜事件發生在加州子公司辦公室,前中國籍工程師將ASML軟體流程信息洩露給XTAL。根據荷蘭媒體Financieele Dagblad的報導,ASML的中國競爭對手XTAL策畫這起竊盜案。

  XTAL以極快的速度處理被盜的機密專業技術,一年後已從ASML搶走大量客戶,其中包括電子巨頭三星電子。根據去年底判決書,加州一位法官裁定XTAL須對ASML支付2.23億美元的損害賠償金。

  到目前為止,除了一些法律專家部落客外,這種情況一直沒有被外界注意到。「在法院判決XTAL須付出損害賠償金後一個月,XTAL申請破產。」

  ASML首次披露2015年發生6名中國籍工程師的違規行為,當時公司發現電腦當機,但淡化了影響,強調電腦被駭損失有限,幾乎沒有發布任何細節。

  如今,根據《路透》報導,加州聖塔克拉拉高等法院的文件顯示,6名前中國籍員工與XTAL分享ASML軟體處理流程的信息,6名員工違反和ASML的雇傭合約。 

  FD:ASML被竊密案與中國科技部有間接聯繫

  儘管ASML否認盜竊與中國政府之間的聯繫。 然而,媒體Financieele Dagblad(FD)研究調查表明,XTAL的中國母公司東方晶源微電子與中國科學技術部有聯繫。

  FD掌握的機密文件顯示,東方晶源的一個項目獲得中國政府經費補貼,該項目的主要目標在加強中國在晶片市場的地位。

  這次盜密案件對ASML來說,肯定是一次嚴重挫折,導致數億美元的損失,並打開大門,讓競爭對手進來。「被偷走的機密技術是ASML生產過程當中關鍵組成部分。」

  中國為什麼想要竊取這些矽秘密?因為ASML的技術對於製造下一代晶片而言,至關重要。中國可能想要竊取其設備藍圖並不奇怪。

  如果你正在為下一次技術革命編制具有關鍵模型的公司候選名單,那肯定會包括ASML。

  ASML不像蘋果、英特爾、三星電子那麼有名,但是,它是歐洲市值第二大的科技業巨擘。全球的晶片製造商都要採購ASML的機器,來製造智慧手機、計算機、汽車、伺服器所需的半導體。ASML的最大客戶是英特爾和三星電子、以及為蘋果生產iPhone晶片的台積電(2330)。

  ASML的光刻機可以讓摩爾定律延壽

  這家荷蘭公司比日本競爭對手尼康(Nikon)、佳能公司多出一個重要優勢:ASML是唯一掌握下一代極紫外光刻技術的公司。光刻(EUV)是將電路圖案蝕刻到矽晶片上的一種過程, EUV工藝可以將電路印刷的體積大幅縮小,比現有規格小10倍以上。

  EUV機器每台售價超過1億歐元(1.13億美元),已開始交付。這項創新可以讓摩爾定律延壽,所謂摩爾定律是指半導體製程每18個月,就會推進一個世代,照此推算,2030年EUV將開出1.5奈米製程。

  這就是ASML的技術對中國有致命吸引力的主因。中國計劃在10年內投入1500億美元(4.6兆台幣)的巨資,在技術設計和製造方面發揮主導作用,作為「2025年中國製造」的一部分。

  雖然中國是電子製造、組裝iPhone、筆電、智慧揚聲器等的樞紐,但許多重要的基礎技術都是仰賴進口,其中包括每年進口價值2000億美元的半導體。2018年,中國占ASML 110億歐元銷售額的17%,此比重雖低於占比最高的南韓(34%),但逼近台灣跟美國的18%。

  FD稱中國籍員工偷走ASML源代碼、軟體、定價策略等機密

  去年美國商務部曾禁止中國電信設備製造商中興通訊採購美國製造的零組件,雖然後來美國取消禁令,但是,中興通訊曾因斷料停產、差點倒閉,使得中國警惕,記取這次重大教訓。

  如果中國希望擁有獨立的半導體產業,那麼它就需要熟練掌握製造晶片所需的設備。不能僅僅購買這個產品的一個原因是,ASML可以生產多少台EUV機器是有限的:它預計2019年將出售30台EUV系統,而去年是18台,其他光刻設備也是如此。

  目前尚不清楚XTAL有哪些重要技術被盜,據荷蘭媒體FD稱,源代碼、軟體、定價策略、秘密用戶手冊資料都被中國員工偷走。

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作者:godson2888 时间:2019-04-22 19:13:07
  陆国情怀
  2019-04-22 16:46
  28楼
  華為做不出芯片 麒麟980 990 只能買台積電
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  评论 陆国情怀:蠢,小米买高通叫买,地位不对等,华为是拿自己的芯片给台积电代工,台积电也很珍视这个客户,是典型的互利合作。芯片的加工极限已经快到了,到时候其他代工厂都上来后,你说台积电是现在摆谱给华为看好让华为以后找别人代工呢,还是乘现在搞好和华为的关系好将来继续给华为作代工?
作者:best0720 时间:2019-04-22 19:55:54
  关键是什么时候能用于量产?
作者:ty牛霸王 时间:2019-04-22 20:14:28
  一点一点的进步,最终会反超的。
作者:gaofei2018 时间:2019-04-22 20:16:13
  与荷兰那个是一回事吗?有没有吹牛逼啊?真的做成了真是好事。
作者:落非寒1 时间:2019-04-22 20:36:16
  加油,未来买固态硬盘会很便宜。
作者:rrdb123 时间:2019-04-22 21:17:21
  原理破解了,那都容易了,构建制造那正是擅长的。
作者:蔑视和平 时间:2019-04-22 21:44:58
  好消息。
作者:千里草0113 时间:2019-04-22 23:56:46
  @陆国情怀 2019-04-22 20:31:34
  大陸沒能力卻妄想9nm
  台積電生產的已經是7nm了
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  衍射光刻机能光刻9纳米,就如同阿斯麦(ASML)的EUV(极紫外光)光刻机能光刻13.5纳米道理是一样的,EUV光刻机经过多次曝光可以光刻芯片7-5纳米,衍射光刻机也同样可以通过多次曝光能够光刻芯片7-5纳米.
作者:千里草0113 时间:2019-04-23 00:23:13
  从新闻报道我们知道,甘棕松教授团队已经把衍射光刻机在原理机样机基础上研制出面向商业化的工程样,在工程样机基础上进一步研制就可以进行量产了。

  甘棕松教授团队研制的衍射光刻机,跟与荷兰阿斯麦(ASML)生产的光刻机,从光刻原理上到光刻过程是完全不同的工艺,因此将来一旦光刻机量产就不会受到阿斯麦技术专利的限制,假如要是走与阿斯麦光刻相同的技术路线,无论你如何努力,都将受到他们技术专利的限制。不仅如此,就连光刻胶也将不再受国外技术专利的限制。
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作者:布尔固德 时间:2019-04-23 00:27:28
  加油,再接再厉!
作者:找个地方来吐吐 时间:2019-04-23 00:47:13
  其实已经不算新闻了,只是刚刚公布而已。中国的科技人员创造了一种新的工作模式,和ASML等主流厂商的技术路线完全不同。这个意义不在于9纳米,当然媒体也只知道这个指标,而是绕过了当前专利封锁中最昂贵的部分,其意义相当重大。同时也带动了一大批关键元件的国产化进程。

  目前来说,这个技术还有很多缺陷,不能刻制复杂图形,刻制速度相当慢,刻制材料受限制很多,在短时期内还不能用于主流芯片的生产。大规模产业化更是需要时间去完善。但是最艰难的那一步迈过去了,后面的发展必然是个加速度。
作者:红三西水 时间:2019-04-23 02:41:57
  这可是喜讯啊
作者:chengccav 时间:2019-04-23 07:37:15
  3D打印式的光刻,虽然能,但是很慢,没前途的。
作者:chengccav 时间:2019-04-23 07:40:02
  相当于一个是手写,一个是复印机,没法比较。
作者:小白兔挣小钱钱 时间:2019-04-23 09:06:07

  挺好的,有了国产,不管性能怎么样,就能打破封锁,能购买到高性能光刻机。像韩国,台湾芯片产业这么发达,自己也是造不出光刻机的。

  为什么去年荷兰ASML公司1.2亿美元卖给中国中芯国际一台顶级的光刻机?还不是看中国光刻技术有重大突破,赶紧卖产品抢占市场,将我们的产品扼杀摇篮中。资本家又不傻,中国这么大市场,怎么可能放弃。

  所以没有中国自主科研,别人就不会卖最好的给我们。那些嘲笑辱骂中国高科技研究的人,不是傻就是坏。



作者:123新手上路123 时间:2019-04-24 15:47:32
  厉害!继续加油!向7nm进发!
作者:股城无圣 时间:2019-04-29 16:42:29
  又他妈骗经费的玩意,估计这种技术只能在实验室实现,毫无商业化生产的价值。
作者:草飞取处好 时间:2019-05-01 14:20:19
  怪不得asml肯把光刻机卖给中国
作者:rrdb123 时间:2019-05-14 12:23:39
  很多家在攻关,利润行业。
  • 动力阿剑: 举报  2019-05-14 12:33:35  评论

    工作台、光源、镜头、浸入技术……各个子系统应该都突破了,最终产品两三年内应该能够出来。这是芯片行业卡脖子的东西。
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