@wjxhong 2020-08-12 20:21:02
我上网搜了一下,如果网上说得对的话,这两种技术就相差远了,复制一下,大家参谋参谋:
复制如下“蚀刻相对于光刻来说要容易一些。光刻机把图案印上去,然后蚀刻机根据印上去的图案蚀刻掉有图案(或者没有图案)的部分,留下剩余的部分。
“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆(或者叫硅片)上盖上事先做好的光刻板,然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质,易于腐蚀。
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2019年好像就说5NM设备出来了??股票暴涨