沈阳真空设备报价服务放心可靠

楼主:诺思真空  时间:2019-11-20 03:25:01
冲榜 守护 脱水 打赏 看楼主 设置

随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器,而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护成本。特别是透明导电玻璃目前广泛应用于平板显示器件、太阳能电池、微波与射频屏蔽装置与器件、传感器等。其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。    

 

对于普通的无油真空系统来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能解决问题,而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果。

干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:     

低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止造成污染,适合用干式真空泵;

用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

温度为20K时,除氦、氖和氢外,其他气体的蒸气压也低于10-8帕。但由于被抽容器和低温冷板的温度不同,泵的极限压力高于冷凝物的蒸气压。对于室温下的容器,低温板为20K时,泵的极限压力约为冷凝物蒸气压力的4倍。  

类型

低温泵分为注入式液氦低温泵和闭路循环气氦制冷机低温泵两种。①注入式液氦低温泵:主要由液氦容器、泵体和连接挡板的液氮腔体等部分组成。

0打赏

3 点赞

主帖获得的天涯分: 73.37
楼主发言:518次 发图:0张 |
朋友图片表情草稿箱

您还可以保存份草稿

帮助
    草稿箱介绍:
    ·每个草稿箱可保存50份草稿
    ·草稿需要手动保存
    ·审核不通过的帖子也会打回到草稿箱中
    ·草稿只保存标题和正文(专辑、投票等内容不做保存)
    ·草稿箱如果存满请手动删除

    希望小小的功能能给您带来一些些帮助

    ——致力关心网友的涯叔

    请遵守天涯社区公约言论规则,不得违反国家法律法规

    点赞列表

    x
    共有人点赞

      本楼点赞抽钻记录

      x

      埋了

      人抽中

        收藏本帖 搬砖回复 回到顶部
        最新红包
          码字不容易,亲,赏点给些动力吧!