仙桃电子厂无尘室在线咨询-鲁鑫设备

楼主:鲁鑫设备  时间:2019-12-10 09:36:18
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物理式净化

1.吸附性过滤—活性炭活性炭是一种多孔性的含炭物质, 它具有高度发达的孔隙构造, 活性炭的多孔结构为其提供了大量的表面积,能与气体(杂质)充分接触,从而赋予了活性炭所特有的吸附性能,使其非常容易达到吸收收集杂质的目的。就象磁力一样,所有的分子之间都具有相互引力缺点:普通活性炭并不能吸附所有的有毒气体,效率较低、易脱附。B、室内空气参数要求:(1)温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。

2.机械性过滤—HEPA网HEPA(High efficiency particulate air Filter),中文意思为高效空气过滤器,达到HEPA标准的过滤网,对于0.3微米的有效率达到99.998%,HEPA网的特点是空气可以通过,但细小的微粒却无法通过。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成,形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。再根据该工程的具体情况,同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力,综合各种因素来确定采用何种净化方案,这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。 

复合式(Mixed Type)

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。

(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。3、光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机++FFU送风口这是最简易的一个空调方案。

(2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。地面可采用环氧自流坪地坪或高点端耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。

(3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

洁净室(Clean R。om)亦称为无尘室或清净室,通常称洁净室的建造工程为净化工程。净化工程是一个应用行业非常广泛的基础性配套产业,目前在电子信息、半导体、光电子、精密制造、医用卫生、生物工程、航天航空、汽车喷涂等众多行业均有应用。洁净室根据不同行业对精密程度与无尘要求,等级差别较大,投资成本的差别也很大。乱流式(TurbulentFlow)空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板乱流式回风。毋庸置疑的是洁净室的建造成本是工厂总建造成本的重要决定因素之一(在造价中所占具体比例与所需洁净室的级别和面积有关),故对洁净室的建造成本进行分析具有一定的现实意义。

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