上海电容测微仪值得信赖-善测(天津)科技有限公司

楼主:善测  时间:2019-12-07 10:45:56
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DWS型电容测微仪是电容不接触式通用性精密测量仪器,它既是测振仪,又是测微仪,既能测量动态位移,又能测量静态位移,具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦,无磨损和无惰性特点外,还具有信噪比大,灵敏度高,零漂小,频响宽,非线性小,精度稳定性好,抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点,在科学院、工程院、航天、航空、高等院校、研究所、工厂得到广泛应用,成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。以电容式微位移传感器为基础,利用运算放大器测量电路原理,当恒定频率的正弦激励电流通过传感器电容时,传感器上产生的电压幅值与电容极板间隙成比例关系。仪器远销国内外,收到国内外用户的一致好评。

根据加工方法的机理和特点,精密和超精密加工方法,可以分为去除加工、结合加工和变形加工三大类。

(1)去除加工。又称为分离加工,是从工件上去除一部分材料,传统的机械加工方法,如车削、铣削、磨削、研磨和抛光等,以及特种加工中的电火花加工、电解加工等,均属这种加工方法。

(2)结合加工。利用物理和化学方法,将不同材料结合(bonding)在一起。按结合的机理、方法、强弱等,它又分为附着、注入(injection)和连接(jointed)三种。

(3)变形加工。又称为流动加工,利用力、热、分子运动等手段,使工件产生变形,改变其尺寸、形状和性能。

被测非电量的变化变换成电容量变化的一种传感器,它与常规的光电传感器、电阻式、电感式传感器相比有如下优点:

输入能量极低,需要非常小的输入。由于带电极板间静电引力很小,约到10-5N量级,因此它特别适用于解决输入能量低的测量问题,如微小位移和微小压力变化的精密测量。

作为电容式测微仪的核心,发展的较为成熟、应用较为广泛的转换电路形式有调频式、运算放大式、脉冲调宽式和AC桥路法等;按结构形式分类,电容位移传感器可以分为,变极距型、变面积型和变介质常数型等。变面积型电容传感器可以测量较大的位移,量程为零点几毫米至几毫米之间,线性度优于0.5%,分辨力为0.01~0.001μm。作为电容式测微仪的核心,发展的较为成熟、应用较为广泛的转换电路形式有调频式、运算放大式、脉冲调宽式和AC桥路法等。变极距型电容传感器主要适用于较小位移的测量量程在0.01μm至几百微米,精度可达到0.01μm以内,分辨力可以达到0.001μm以内。其中最基本的是平面变极距型,主要用于精密测量、精密定位等。电容测微仪可以测量一般的长度,也可测量振动、压力、介质的温度等多种参数。它既可以进行静态测量,也可以进行动态测量;据目前相关材料看,电容测微仪的分辨力可以达到1nm~0.1nm,用于测量微位移及微小尺寸的系统精度能达到10nm左右,测量压力及压差的系统精度达到帕级,此外测量振动、薄膜厚度及液位的仪器均得到成功的应用,特别是近年来出现的成功应用电容测微仪技术测量盲小孔和微孔直径。现在电容测微仪的主要生产厂家有天津大学精仪学院,英国Queensgate Instrument公司,美国Wanye Kerr公司等。

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